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斜入射光柵單色器采用斜入射式結構，利?平面光柵進行分光，具有較高的傳輸效率，同時對光譜脈沖寬度展寬較小，可以實現點到點的單色光成像。主要用于極紫外波段的光譜測量和分光實驗。

真空紫外分光光度計是一種專門用于測量材料在10-200 nm波長范圍內（即真空紫外區(qū)）的吸光度、反射率或透射率的精密分析儀器。它與普通紫外-可見分光光度計的核心區(qū)別就在于其真空密封的光路系統(tǒng)和適用于該波段的特殊光學元件。

超環(huán)面光柵單色器 是一種利用表面形狀為超環(huán)面的衍射光柵，將寬波段、連續(xù)譜的入射光（如同步輻射光）在空間上進行色散，并從中選擇出單一波長的單色光輸出的精密光學裝置。