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高分辨平場(chǎng)光譜儀，采?全息凹球?變線距光柵進(jìn)?分光，具有平場(chǎng)特性，便于使??陣CCD記錄光譜。光柵?作在掠?射模式下，衍射效率?，同時(shí)通過(guò)選? 不同的光柵型號(hào)，可以實(shí)現(xiàn)波?范圍1~30nm的全覆蓋。

極紫外光譜儀，采用全息凹球面變線距光柵進(jìn)行分光，具有平場(chǎng)特性，便于使用面陣CCD記錄光譜。光柵工作在掠入射模式下，衍射效率高，同時(shí)通過(guò)選用不同的光柵型號(hào)，可以實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)范圍0.6~200nm的全覆蓋。